其中，基礎(chǔ)工藝和核心工藝的改進(jìn)、提高及其發(fā)展趨勢(shì)具代表性。

為適應(yīng)物聯(lián)網(wǎng)和無線傳感器網(wǎng)絡(luò)發(fā)展的需要，一部分測(cè)力與稱重傳感器正由傳統(tǒng)型向全新型的小型化、多功能、低功耗、低成本方向發(fā)展，其技術(shù)難度之一是要求基礎(chǔ)工藝提供微型化、高阻值電阻應(yīng)變計(jì)。為研制大阻值，低功耗電阻應(yīng)變計(jì)，美國 V-MM 公司研究軋制出 0.00006～0.00008英寸（1.5～2μm）厚的應(yīng)變電阻合金箔材，并應(yīng)用此箔材研制出微型高阻單軸和全橋電阻應(yīng)變計(jì)。

微型高阻單軸電阻應(yīng)變計(jì)的特點(diǎn)是：采用帶有溫度自補(bǔ)償性能的卡瑪合金制造敏感柵，基底材料與普通尺寸應(yīng)變計(jì)相同；敏感柵的總體尺寸很小，可以做到 1×1mm 和 0.5×0.5mm，而且仍能手工

焊接；應(yīng)變計(jì)電阻值可達(dá) 5k?，誤差 0.2%。微型高阻全橋電阻應(yīng)變計(jì)的特點(diǎn)是：采用帶溫度自補(bǔ)償性能的卡瑪合金制造敏感柵，基底材料與標(biāo)準(zhǔn)尺寸應(yīng)變計(jì)相同；也有用于剪應(yīng)力測(cè)量的敏感柵為45°方向的全橋電阻應(yīng)變計(jì)；基底尺寸是 3.8mm×4.0mm，電阻值為 5000?±0.2%。 稱重傳感器核心制造工藝中重要的環(huán)節(jié)，是將電阻應(yīng)變計(jì)牢固的粘貼在彈性元件上，盡管創(chuàng)造各種條件使其固化非常完全，但在工作時(shí)也會(huì)出現(xiàn)性能波動(dòng)。美國 MS 公司創(chuàng)造了在高溫下，將半導(dǎo)體電阻應(yīng)變計(jì)與無機(jī)玻璃熔于小型彈性元件上，制成低成本新型稱重傳感器。這種無機(jī)玻璃粘貼電阻應(yīng)變計(jì)的新技術(shù)與新工藝，消除了傳統(tǒng)的用環(huán)氧樹脂和酚醛環(huán)氧樹脂粘貼電阻應(yīng)變計(jì)所帶來

的不穩(wěn)定性，極大的提高了稱重傳感器的長期穩(wěn)定性和工作可靠性，經(jīng)過一千萬周期以上的測(cè)試，其壽命基本是無限的。 稱重傳感器的原理和制造工藝決定了，在其生產(chǎn)工藝流程中必然產(chǎn)生一些缺陷，因?yàn)樵S多工序?yàn)槿斯げ僮鳌⑹謩?dòng)控制，人為的因素對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量影響較大。        為了使生產(chǎn)的每一個(gè)產(chǎn)品都符合國家標(biāo)準(zhǔn)的要求，保證大批量生產(chǎn)稱重傳感器的質(zhì)量，大限度的排除人為的因素對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量影響。稱重

傳感器制造工藝的發(fā)展趨勢(shì)是：在生產(chǎn)工藝流程中盡量增加以計(jì)算機(jī)控制為主的半自動(dòng)化或自動(dòng)化工序。并將網(wǎng)絡(luò)信息化技術(shù)應(yīng)用于稱重傳感器的生產(chǎn)工藝流程中，實(shí)現(xiàn)工藝流程的網(wǎng)絡(luò)化。即通過

通訊線路和設(shè)備把各生產(chǎn)工序具有獨(dú)立操作和控制功能的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)相互連接起來，在網(wǎng)絡(luò)軟件管理下，實(shí)現(xiàn)信息的收集、存儲(chǔ)和處理進(jìn)入 21 世紀(jì)以來，威世精密集團(tuán)北京特迪亞公司、中航電測(cè)儀器股份有限公司、寧波柯力傳感技術(shù)股份有限公司等，都將網(wǎng)絡(luò)信息化技術(shù)應(yīng)用于稱重傳感器生產(chǎn)工藝流程中，基本實(shí)現(xiàn)了工藝流程的網(wǎng)絡(luò)化。

在以計(jì)算機(jī)控制為中心的網(wǎng)絡(luò)化生產(chǎn)工藝流程中，單道工序的半自動(dòng)化和自動(dòng)化是生產(chǎn)工藝流程網(wǎng)絡(luò)化的基礎(chǔ)。20 世紀(jì) 90 年代以來，稱重傳感器制造工藝流程中，單道工序的半自動(dòng)化和自動(dòng)化改造成果主要有：超聲波水洗技術(shù)與工藝；全自動(dòng)機(jī)器人粘貼電阻應(yīng)變計(jì)和輔助粘貼電阻應(yīng)變計(jì)系統(tǒng)；固化、后固化工藝的隧道式加溫控溫烘道，控溫精度高、工作段溫度均勻性好，固化、后固化完成后應(yīng)變膠粘劑物理和機(jī)械性能的均一性好；高效智能零點(diǎn)、靈敏度溫度補(bǔ)償測(cè)試系統(tǒng)；快速全自動(dòng)在線檢測(cè)工藝和多臺(tái)疊加式力標(biāo)準(zhǔn)機(jī)同時(shí)工作的無縫鏈接自動(dòng)檢測(cè)稱重傳感器生產(chǎn)線；將卣素引入高聚物中或用硅氧鍵嵌入高聚物中的高度防潮耐水密封膠密封新工藝，以及采用含氟聚酰亞

胺、含氟環(huán)氧樹脂、含氟丙烯酸脂，硅氧/亞酰胺共聚物、苯基有機(jī)硅和硅化苯乙烯為基礎(chǔ)材料制作密封膠的新防護(hù)密封工藝；全自動(dòng)穩(wěn)定性處理工藝；動(dòng)態(tài)稱重傳感器的機(jī)械阻尼、油阻尼、電子振蕩阻尼工藝；高溫稱重傳感器的高溫電路補(bǔ)償及高溫密封新工藝等。

大批量生產(chǎn)稱重傳感器，多對(duì)生產(chǎn)工藝流程采取統(tǒng)計(jì)制程管理。即利用統(tǒng)計(jì)學(xué)原理，對(duì)生產(chǎn)工藝全過程中的產(chǎn)品質(zhì)量進(jìn)行控制和管理，以達(dá)到盡可能第一次就使產(chǎn)品符合國家標(biāo)準(zhǔn)和國家檢定規(guī)程要求的目的。統(tǒng)計(jì)制程管理的核心是科學(xué)、合理的進(jìn)行抽樣試驗(yàn)與測(cè)試；把生產(chǎn)工藝流程、產(chǎn)品質(zhì)量控制、工藝裝備利用聯(lián)系在一起，提高生產(chǎn)過程控制能力；快速分析制程出現(xiàn)的問題和迅速采取措施保證制程穩(wěn)定，大限度的減小產(chǎn)品的不合格率。統(tǒng)計(jì)制程管理的特點(diǎn)是：

①經(jīng)濟(jì)性：采用抽樣檢驗(yàn)法，產(chǎn)品參與檢測(cè)、試驗(yàn)的項(xiàng)目和次數(shù)科學(xué)合理，使生產(chǎn)工藝流程穩(wěn)定，大限度的減少產(chǎn)品的不合格率；

②預(yù)警性：一旦生產(chǎn)工藝流程出現(xiàn)異常趨勢(shì)，可立即采取對(duì)策，預(yù)防批量不合格。一般都是根據(jù)工藝?yán)碚摵蛯?shí)踐經(jīng)驗(yàn)提供控制資料。

③科學(xué)性：把工藝過程、質(zhì)量控制、裝備利用聯(lián)系在一起，提高生產(chǎn)過程控制能力和快速分辨共同和特殊原因的評(píng)估能力；

④高效性：統(tǒng)計(jì)制程控制，解決了長期困擾的大批量生產(chǎn)的質(zhì)量檢驗(yàn)問題，改善了評(píng)估方法，減少了報(bào)表和數(shù)據(jù)分析，保證了成本、質(zhì)量和交貨期。 在稱重傳感器生產(chǎn)工藝流程中，實(shí)現(xiàn)整個(gè)生產(chǎn)過程信息、通信、自動(dòng)化技術(shù)的橫向與縱向真正的無縫一體化，是大批量生產(chǎn)工藝流程發(fā)展的必然趨勢(shì)。